EPYAOI-A100 磊晶應用自動光學AOI檢測設備

磊晶應用自動光學檢測設備,EPI,LED前段制程,視覺檢測,缺陷檢測

從自動化關鍵零組件的單軸模組,傳動元件,運動控制卡,軟體研發,到自動化設備應用規劃及研發客制,如產業機器人,機器手臂,PCB切割機,SMT制程設備,LED/半導體制程設備,光通訊設備,自動光學檢測AOI設備和椿科技提供一貫且完整的解決方案。

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磊晶應用自動光學AOI檢測設備

EPYAOI-A100
磊晶應用自動光學檢測設備 EpyAOI-A100
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產品資訊
產品資訊

Epi Series 檢測系統主要針對 Epi 後表面缺陷檢測所設計,爲求于 LED 前段制程之 AOI 功能完整性,和椿率先推出磊晶缺陷檢測專用機,爲業界之首。

利用特殊影像處理技術,可有效檢出魚鱗及角椎等磊晶制程特有缺陷,獨家虛擬良率計算軟體,有效分析基板缺陷分布狀態,幷同時提供當片基板缺陷比例數據分析,透過與磊晶廠合作開發模式,設備功能更能符合業界量産需求。