磊晶應用自動光學檢測設備

磊晶應用自動光學檢測設備,EPI,LED前段制程,視覺檢測,缺陷檢測

從自動化關鍵零組件的單軸模組,傳動元件,運動控制卡,軟體研發,到自動化設備應用規劃及研發客制,如產業機器人,機器手臂,PCB切割機,SMT制程設備,LED/半導體制程設備,光通訊設備,自動光學檢測AOI設備和椿科技提供一貫且完整的解決方案。

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磊晶應用自動光學檢測設備

EPYAOI-A200
磊晶應用自動光學檢測設備 磊晶應用自動光學檢測設備
磊晶應用自動光學檢測設備
磊晶應用自動光學檢測設備
產品資訊
規格
產品資訊

Epi Series 檢測系統主要針對 Epi 後表面缺陷檢測所設計,爲求于 LED 前段制程之 AOI 功能完整性,和椿率先推出磊晶缺陷檢測專用機,爲業界之首。
利用特殊影像處理技術,可有效檢出魚鱗及角椎等磊晶制程特有缺陷,獨家虛擬良率計算軟體,有效分析基板缺陷分布狀態,並同時提供當片基板缺陷比例數據分析,透過與磊晶廠合作開發模式,設備功能更能符合業界量産需求。

規格
項目
規格
Line Scan 镜头 (低倍)
16K CCD Camera + 3.3x 镜头
解析度 1.5 x 1.5 um²
同轴光源 (白光) 及亮度控制系统
影片撷取卡
线性扫描
复检显微镜 (高倍)
5M CCD Camera
同轴光源 (白光) 及亮度控制系统
20 倍显微物镜 (自动对焦)
自动寻边模组
视野范围 4, 6 共用
Autofocus 自动对焦
量测范围: ±1 mm
静态变数: 0.25 um
光点直径: Ø40 um
雷刻码辨识系统
(选配) OCR 雷刻辨识器
XYZ 行程
移动距离: X: 300 mm, Y: 200 mm, Z: 10 mm
各轴精度: ±1 um
各轴重复精度: ±2 um
机械手臂
双臂左右平行式手臂
旋转角度约 340°
Cassette Load Port
各站自动侦测 4, 6 吋 Cassette
分规可自行设定
真空治具
最大可摆放 6 吋 Wafer
运动控制器
8 轴运动控制卡
条码
提供 USB 介面,使用者可连接条码读取头