圖案化乾蝕刻代工 OEM

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從自動化關鍵零組件的單軸模組,傳動元件,運動控制卡,軟體研發,到自動化設備應用規劃及研發客制,如產業機器人,機器手臂,PCB切割機,SMT制程設備,LED/半導體制程設備,光通訊設備,自動光學檢測AOI設備和椿科技提供一貫且完整的解決方案。

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ICP
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產品資訊
產品資訊

採用Panasonic製高性能ICP,加工均一性良好、穩定性高、蝕刻率佳,可創造各式形貌之圖案化基板。

Panasonic E620

數量: 一台

生產力: 同時蝕刻7片2吋基板

氣體源: BCl3 Cl2 CF4 Ar N2 O2 He