PKGS-A200 Automatic change box laser engraving machine

PKGS-A200 Automatic change box laser engraving machine

從自動化關鍵零組件的單軸模組,傳動元件,運動控制卡,軟體研發,到自動化設備應用規劃及研發客制,如產業機器人,機器手臂,PCB切割機,SMT制程設備,LED/半導體制程設備,光通訊設備,自動光學檢測AOI設備和椿科技提供一貫且完整的解決方案。

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Automatic change box laser engraving machine

PKGS-A200
PKGS-A200 自動換盒雷刻機
PKGS-A200 自動換盒雷刻機
Product
Specification
Product
  • The PKGS-A200 is a high-precision collective automatic box-changing machine.
  • Wafer inspection, laser marking and product specification can be completed in one stop.
  • With 34 axes of precision control and minimal volume, it can be adapted to each plant space configuration.
Specification
Project
Specification
適用晶片尺寸
(8吋) 200 mm, (12吋) 300 mm
適用晶片厚度
最薄 700 um
晶圓檢測
:
晶圓厚度量測
1 um
晶圓表面檢測
25 um
晶圓邊緣缺角或崩裂檢查
25 um
晶圓墨點高度量測
10 um
雷射刻印
:
規格
1064 nm Fiber Laser 雷射打標模組
打標範圍
110 x 110 mm
光束質量
M2 < 2.0
雷射輸出功率
≧ 20W
波長
1064 nm
最大峰值功率
15kW
入料段--單軸滑台模組
:
單軸滑台重覆精度
±0.01 mm
單軸滑台驅動最高速度
250, 500 mm/sec
中間檢查段--單軸線馬模組
:
單軸線馬重覆精度
±0.002 mm
單軸線馬驅動最高速度
800, 1500 mm/sec
出料段--單軸滑台模組
:
重覆精度
±0.01 mm
驅動最高速度
1000 mm/sec
作業系統
Windows 7
人機介面
液晶螢幕、鍵盤、滑鼠
電源供應
1Ø, AC 220 - 240V, 50 - 60 Hz
供給氣壓
0.5 Mpa
真空壓力
-80 kpa
機台尺寸 (長 x 寬 x 高)
386 x 180 x 180 cm
機台重量
2600 kg