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光電技術與製程
和椿科技的光電科技事業起步於2008年,當時以「光電二部」的形式附屬於自動化設備事業處之下,歷經兩年的開發與準備,於2010 年底正式成立「光電事業處」,以豐富的專利佈局、充沛的設備資源、領先業界的模板製造技術,提供品質優良的高亮度藍紫光 LED 用圖案化藍寶石基板 (Patterned Sapphire Substrate,PSS)與相關製造設備,展現和椿科技跨足光電產業的決心。
和椿科技目前已成功開發出微/奈米球自組裝技術(Micro/Nanosphere Self-Assembly Technology)、奈米壓印技術(Nano-Imprint Lithography Technology),皆可達成大面積次微米圖案化之應用領域。
利用上述兩種圖案化技術配合乾/溼蝕刻(Dry/Wet Etching),成功開發出微米級圖案化藍寶石基板(MPSS) 與奈米級圖案化藍寶石基板 (NPSS),是台灣奈米級圖案化藍寶石基板的先驅。PSS 作為優質氮化鎵 (GaN) 成長之載體,有效提昇LED 光萃取率、增強LED 電氣性質,為目前全球廣泛使用的藍紫光 LED 原料之一。
除藍寶石基板外,圖案化技術還可應用於高密度光儲存媒體的製作、光子晶體、光波導元件、次波長光學元件等光通訊系統及奈微米流道、生醫晶片等;另在非平面基材之次微米結構元件製作,也可利用奈米壓印技術來實現傳統技術達不到的具特殊光學效果之微結構,如聚焦型太陽能熱發電、仿生複眼曲面微透鏡陣列、各式光學透鏡裝置、天文光學元件等。
2011 年和椿科技推出自行研發的全自動PSS檢測設備,以高速檢測為特色,提供客戶更精準、更全面、更具有成本效益的PSS 品質控制方案。PSS 有微結構觀察不易、缺陷檢出困難、檢驗標準不一等品質上的問題,透過AOI 檢測設備 (Automatic Optical Inspection) 取代人工作業,精準控制生產品質、減少製程損失,可顯著降低製造成本。