マイクロパターン化サファイヤ基板

マイクロパターン化サファイヤ基板

從自動化關鍵零組件的單軸模組,傳動元件,運動控制卡,軟體研發,到自動化設備應用規劃及研發客制,如產業機器人,機器手臂,PCB切割機,SMT制程設備,LED/半導體制程設備,光通訊設備,自動光學檢測AOI設備和椿科技提供一貫且完整的解決方案。

こんにちは 

ログアウト
会員
search お客様専用サービスセンター
BACK
CLOSE

マイクロパターン化サファイヤ基板

Micro-Patterned Sapphire
微米圖案化藍寶石基板
微米圖案化藍寶石基板
製品情報
仕様
製品情報

サファイヤ基板上にエッチング方式によって特定のマイクロ構造を作製したもの。一定の微細周期構造を持つものをパターン化サファイヤ基板(PSS)と呼び、高輝度青紫LEDを作製する場合に良質なGaN薄膜の成長用基板として広く用いられている。

 

マイクロパターン化サファイヤ基板(MPSS)のメリット​​​​​​​:

  • 良質なGaN薄膜が成長でき、LED発光効率、波長均一性、耐圧の向上
  • LEDチップからの光取り出し効率の向上

 

インプリントと露光プロセスの差異​​​​​​​:

  • ナノインプリント(NIP)技術は均一のマイクロサイスパターンを作ることは簡単、基板のBOW WRAP TTV LTVに影響しない。
仕様
項目
仕様
Orientation
Surface Orientation : C-plain (0001)
Orientation Flat : A-plane (11-20)
Wafer Size
Diameter : 50.8 +/- 0.2 mm
Thickness : 430 +/- 25 mm
Front Surface(Pattern Size)
Pitch: 3000nm
Height: 1700nm
Bottom Diameter: 2800nm
Arrangement : Trigonal
Back Surface
Finishing : Fine Ground