图案化干蚀刻代工 OEM

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从自动化关键零组件的单轴模组,传动元件,运动控制卡,软体研发,到自动化设备应用规划及研发客制,如产业机器人,机器手臂,PCB切割机,SMT制程设备,LED/半导体制程设备,光通讯设备,自动光学检测AOI设备和椿科技提供一贯且完整的解决方案。

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图案化干蚀刻代工 OEM

ICP
圖案化乾蝕刻代工 OEM
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产品资讯
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采用Panasonic制高性能ICP,加工均一性良好、稳定性高、蚀刻率佳,可创造各式形貌之图案化基板。

Panasonic E620

数量: 一台

生产力: 同时蚀刻7片2吋基板

气体源: BCl3 Cl2 CF4 Ar N2 O2 He