微米图案化蓝宝石基板

微米图案化蓝宝石基板

从自动化关键零组件的单轴模组,传动元件,运动控制卡,软体研发,到自动化设备应用规划及研发客制,如产业机器人,机器手臂,PCB切割机,SMT制程设备,LED/半导体制程设备,光通讯设备,自动光学检测AOI设备和椿科技提供一贯且完整的解决方案。

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微米图案化蓝宝石基板

Micro-Patterned Sapphire
微米圖案化藍寶石基板
微米圖案化藍寶石基板
产品资讯
规格
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以蚀刻(Etching)方式在蓝宝石基板上制作出特定之微米级微结构。此具有一定周期性的微结构面,可作为优质氮化镓(GaN)磊晶薄膜成长之载体,为全球广泛使用之高亮度蓝紫光LED用原料。

 

微米级图案化蓝宝石(MPSS)优点:

  • 增加LED光萃取率
  • 增强LED电气性质

 

压印制程与传统制程之差异

  • 以奈米压印(NIP)技术制作均一性良好的微米级图案,不受基板BOW WRAP TTV LTV的影响。
规格
项目
规格
Orientation
Surface Orientation : C-plain (0001)
Orientation Flat : A-plane (11-20)
Wafer Size
Diameter : 50.8 +/- 0.2 mm
Thickness : 430 +/- 25 mm
Front Surface(Pattern Size)
Pitch: 3000nm
Height: 1700nm
Bottom Diameter: 2800nm
Arrangement : Trigonal
Back Surface
Finishing : Fine Ground