磊晶应用自动光学检测设备

磊晶应用自动光学检测设备,EPI,LED前段制程,视觉检测,缺陷检测

从自动化关键零组件的单轴模组,传动元件,运动控制卡,软体研发,到自动化设备应用规划及研发客制,如产业机器人,机器手臂,PCB切割机,SMT制程设备,LED/半导体制程设备,光通讯设备,自动光学检测AOI设备和椿科技提供一贯且完整的解决方案。

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磊晶应用自动光学检测设备

EPYAOI-A200
磊晶應用自動光學檢測設備 磊晶應用自動光學檢測設備
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规格
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Epi Series 检测系统主要针对 Epi 后表面缺陷检测所设计,为求于 LED 前段制程之 AOI 功能完整性,和椿率先推出磊晶缺陷检测专用机,为业界之首。
利用特殊影像处理技术,可有效检出鱼鳞及角椎等磊晶制程特有缺陷,独家虚拟良率计算软体,有效分析基板缺陷分布状态,并同时提供当片基板缺陷比例数据分析,透过与磊晶厂合作开发模式,设备功能更能符合业界量产需求。

规格
项目
规格
Line Scan 镜头 (低倍)
16K CCD Camera + 3.3x 镜头
解析度 1.5 x 1.5 um²
同轴光源 (白光) 及亮度控制系统
影片撷取卡
线性扫描
复检显微镜 (高倍)
5M CCD Camera
同轴光源 (白光) 及亮度控制系统
20 倍显微物镜 (自动对焦)
自动寻边模组
视野范围 4, 6 共用
Autofocus 自动对焦
量测范围: ±1 mm
静态变数: 0.25 um
光点直径: Ø40 um
雷刻码辨识系统
(选配) OCR 雷刻辨识器
XYZ 行程
移动距离: X: 300 mm, Y: 200 mm, Z: 10 mm
各轴精度: ±1 um
各轴重复精度: ±2 um
机械手臂
双臂左右平行式手臂
旋转角度约 340°
Cassette Load Port
各站自动侦测 4, 6 吋 Cassette
分规可自行设定
真空治具
最大可摆放 6 吋 Wafer
运动控制器
8 轴运动控制卡
条码
提供 USB 介面,使用者可连接条码读取头