ICP自動上料設備 ASM-A100

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透過自動化模式將已完成黃光製程的藍寶石基板從取片、擺盤到鎖螺絲一次完成。
透過自動化設計將完成黃光製程的藍寶石基板從取片、擺盤到鎖螺絲一次完成,根據實際產線操作驗證可有效降低刮傷率以及懸浮微粒所造成的汙染,進而達到良率提升的功效。