自動光學檢測設備 Patreg-1000

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PSS有微結構觀察不易、缺陷檢出困難、檢驗標準不一等品質上的問題,透過全自動AOI檢測設備 (Automatic Optical Inspection) 取代人工作業,精準控制生產品質、減少製程損失,可顯著降低製造成本。
‧ 光學檢查機構
‧ 缺陷檢出軟體
‧ 自動卸載機器手臂
‧ 晶片100%面積全掃描
‧ 2吋、4吋基板對應
‧ 雷射刻號、Barcode讀取系統
‧ 晶片履歷資料庫