磊晶應用自動光學檢測設備 EpyAOI-A100

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Epi series檢測系統主要針對Epi後表面缺陷檢測所設計,為求於LED前段製程之AOI功能完整性,和椿率先推出磊晶缺陷檢測專用機,為業界之首。
利用特殊影像處理技術,可有效檢出魚鱗及角椎等磊晶製程特有缺陷,獨家虛擬良率計算軟體,有效分析基板缺陷分布狀態,並同時提供當片基板缺陷比例數據分析透過與磊晶廠合作開發模式,設備功能更能符合業界量產需求。