微米圖案化藍寶石基板(Micro-Patterned Sapphire Substrate,MPSS)

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以蝕刻(Etching)方式在藍寶石基板上製作出特定之微米級微結構。此具有一定週期性的微結構面,可作為優質氮化鎵(GaN)磊晶薄膜成長之載體,為全球廣泛使用之高亮度藍紫光LED用原料。
微米級圖案化藍寶石(MPSS)優點:
  • 增加LED光萃取率
  • 增強LED電氣性質

壓印製程與傳統製程之差異
  • 以奈米壓印(NIP)技術製作均一性良好的微米級圖案,不受基板BOW WRAP TTV LTV的影響。
Orientation Surface Orientation : C-plain (0001)
Orientation Flat : A-plane (11-20)
Wafer Size

Diameter : 50.8 +/- 0.2 mm
Thickness : 430 +/- 25 mm

Front Surface(Pattern Size) Pitch: 3000nm
Height: 1700nm
Bottom Diameter: 2800nm
Arrangement : Trigonal
Back Surface

Finishing : Fine Ground