量産型全自動化高速PSS検査装置を2012年3月発表
ここ数年、LED照明の需要が拡大しており、窒化ガリウム系LEDの輝度向上効果があるパターン化サファイア基板 (Patterned Sapphire Substrate, PSS) への注目度も高まっている。市場の要求に呼応して、基板メーカーやチップメーカーは2~4インチPSSの内製化を進める一方、PSS専門メーカーもその生産量拡大に取り組んでいる。より良質な窒化ガリウムを成長させ、高い歩留りでLEDチップを生産するためにはPSSの欠陥検査が非常に重要となる。正確な欠陥検出能力や全面自動検査に加え、今後のキーとなるのは検査スピードである。

オーローテック光電事業所は2012年3月、全自動高速PSS検査装置を発表する。解像度2umの条件下で、2インチ基板140枚/時の全面検査能力を持ち、現在の人手によるOM検査をAOI装置に変えることで、検査品質を安定化し、生産コストを大幅に削減することができます。

詳しい情報は光電事業所営業部までお気軽にお問い合わせ下さい。

2012/02/20 17:51
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