EPI用自動光学検査設備 EpyAOI-A100

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Epi センサー検査システムは主なEpi後表面欠陥測定用に設計、LED前工程でのAOI機能の完成性を求め、オーロテックは業界初Epi欠陥測定専用機を開発した。

独自の画像処理技術により,うろこ形状(魚鱗)及びピラミッド形状等のエピ特有の欠陥検出を可能にしました。本検査機から得たデータで後工程の良品率予測が出来、欠陥分布情報は後工程の分割などのプロセスに生かせます。エピメーカと共同開発、機能は業界にマッチします。