高精度ステージ

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ズーム
1.Because of this precision stage use precision screw and linear crossed roller bearings, so it can be achieved 1um level.
2.5-Phase Microstepping Motor.
3.Unitized configuration design.
4.Design of dual-axis motor, ENCODER can be connected.
Model AA-40X AA-50X AA-60X AA-70X AA-100X
テーブル面 40mm×40mm 50mm×50mm 60mm×60mm 70mm×75mm 100mm×100mm
案内方式 精密クロスローラーガイド
移動範囲 ±5mm ±7.5mm ±10mm ±12.5mm ±20mm
送り方式 ボールネジ リード1.0mm
繰り返し位置決め精度 ±0.5μm
真直度 (1μm/10mm) (1μm/15mm) (1μm/20mm) (1μm/25mm) (1μm/40mm)
最高速度 8mm/sec(8kpps)
水平耐荷重 2kgf 4kgf 5kgf 8kgf 10kgf
材質 アルミ合金
外観 黒色アルマイト
重量 0.25kg 0.6kg 0.75kg 0.85kg 1.8kg
使用モータ 5相ステッピングモータ
最小分解能 1μm/step(Half)