自動光学検査設備 Patreg-1000

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PSS製造工程内での使用に適したインライン型自動欠陥検査装置。特には、ドライエッチング工程やMOCVD成膜工程の前検査に使用することで、各装置への不良基板の投入を回避し、前工程のプロセス管理と後工程への不良品流入防止に有効な検査装置。目視検査ではチェックできない微小欠陥を、光学顕微鏡では実現できないスピードで基板全面検査することが可能であり、検査基準の一定化による品質の向上、人件費の削減にも効果がある。
‧ 高速、高精度な光学検査方法、機構を採用
‧ 高速な欠陥抽出と数値管理が可能なソフトウェアを搭載
‧ 基板のロード/アンロードロボットを搭載
‧ 基板の全面検査が可能
‧ 2インチ、4インチ基板に対応
‧ レーザーマークリーダー、バーコードリーダー付
‧ 基板データの保管が可能