マイクロパターン化サファイヤ基板

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サファイヤ基板上にエッチング方式によって特定のマイクロ構造を作製したもの。一定の微細周期構造を持つものをパターン化サファイヤ基板(PSS)と呼び、高輝度青紫LEDを作製する場合に良質なGaN薄膜の成長用基板として広く用いられている。

マイクロパターン化サファイヤ基板(MPSS)のメリット:

  • •良質なGaN薄膜が成長でき、LED発光効率、波長均一性、耐圧の向上
  • •LEDチップからの光取り出し効率の向上

インプリントと露光プロセスの差異:

  • •ナノインプリント(NIP)技術は均一のマイクロサイスパターンを作ることは簡単、基板のBOW WRAP TTV LTVに影響しない
Orientation Surface Orientation : C-plain (0001)
Orientation Flat : A-plane (11-20)
Wafer Size

Diameter : 50.8 +/- 0.2 mm
Thickness : 430 +/- 25 mm

Front Surface(Pattern Size) Pitch: 3000nm
Height: 1700nm
Bottom Diameter: 2800nm
Arrangement : Trigonal
Back Surface

Finishing : Fine Ground