パターン化エッチング受託加工 OEM

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ズーム
パナソニック社製高性能ICPを用いた、均一性の良い、高アウペクトレシオのエッチング加工が可能。

Panasonic E620
Quantity: 1
Working capacity: 7 pieces of 2 inch sapphire substrates at the same time.
Gas source: BCl3 Cl2 CF4 Ar N2 O2 He