ナノインプリント技術とプロセス用設備 MPM-1200

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ナノインプリント(NIP)技術を用いた均一性の高いパターン製造技術。100nm以下の超微細化にも対応可能で、パターンサイズや形状の幅広い仕様に対応が可能。基板の大型化(4インチ、6インチ)や多面取りにも対応でき、低コストでかつ高スループットなプロセスです。

NIP Process