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Zoom
機台結構 花崗岩底座
掃描振鏡 3D Scanner
3D Scanner 1~4 組
單組掃瞄範圍 300 X 300 mm / 20μm 500 X 500 mm / 30μm
工作範圍 600 X 600 mm(可依客戶指定)
拼接精度 ± 5um
掃描速度 Max. 6000 mm/s
工件固定方式 真空吸附( 無板翹/ 無Pin hole)
對位驅動方式 無鐵心線性馬達
設備尺寸 1500 X 1000 X 2283 mm
設備重量 2000 kg
雷射類別 光纖雷射器
雷射波長 1064 nm
雷射功率 20 Watts
頻率調變 1.6 - 1000 KHz
雷射線寬 10~30 um 切換設定
冷卻方式 風冷
CCD 移動速度 600 mm/s
CCD 定位精度 ±1um
光學尺精度 ±1um
電源 3Φ 220V, 50/60 Hz
無塵等級 Class 1,000