ICP自动上料设备 ASM-A100

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透过自动化模式将已完成黄光制程的蓝宝石基板从取片、摆盘到锁螺丝一次完成。
透过自动化设计将完成黄光制程的蓝宝石基板从取片、摆盘到锁螺丝一次完成,根据实际产线操作验证可有效降低刮伤率以及悬浮微粒所造成的污染,进而达到良率提升的功效。