自动光学检测设备 Patreg-1000

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PSS有微结构观察不易、缺陷检出困难、检验标准不一等品质上的问题,透过全自动AOI检测设备 (Automatic Optical Inspection) 取代人工作业,精准控制生产品质、减少制程损失,可显着降低制造成本。
‧ 光学检查机构
‧ 缺陷检出软体
‧ 自动卸载机器手臂
‧ 晶片100%面积全扫描
‧ 2寸、4寸基板对应
‧ 雷射刻号、Barcode读取系统
‧ 晶片履历资料库