磊晶应用自动光学检测设备 EpyAOI-A100

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Epi series检测系统主要针对Epi後表面缺陷检测所设计,为求於LED前段制程之AOI功能完整性,和椿率先推出磊晶缺陷检测专用机,为业界之首。
利用特殊影像处理技术,可有效检出鱼鳞及角椎等磊晶制程特有缺陷,独家虚拟良率计算软体,有效分析基板缺陷分布状态,并同时提供当片基板缺陷比例数据分析透过与磊晶厂合作开发模式,设备功能更能符合业界量产需求。