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机台结构 花岗岩底座
扫描振镜 3D Scanner
3D Scanner 1~4 组
单组扫瞄范围 300 X 300 mm / 20μm 500 X 500 mm / 30μm
工作范围 600 X 600 mm(可依客户指定)
拼接精度 ± 5um
扫描速度 Max. 6000 mm/s
工件固定方式 真空吸附( 无板翘/ 无Pin hole)
对位驱动方式 无铁心线性马达
设备尺寸 1500 X 1000 X 2283 mm
设备重量 2000 kg
雷射类别 光纤雷射器
雷射波长 1064 nm
雷射功率 20 Watts
频率调变 1.6 - 1000 KHz
雷射线宽 10~30 um 切换设定
冷却方式 风冷
CCD 移动速度 600 mm/s
CCD 定位精度 ±1um
光学尺精度 ±1um
电源 3Φ 220V, 50/60 Hz
无尘等级 Class 1,000