圖案化乾蝕刻代工 OEM

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採用Panasonic製高性能ICP,加工均一性良好、穩定性高、蝕刻率佳,可創造各式形貌之圖案化基板。

Panasonic E620

數量: 一台

生產力: 同時蝕刻7片2吋基板

氣體源: BCl3 Cl2 CF4 Ar N2 O2 He